真空壓力傳感器是能感受壓力信號(hào),并能按照一定的規(guī)律將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號(hào)的器件或裝置??梢酝ㄟ^它們所能測(cè)量的壓強(qiáng)范圍,工作溫度以及壓強(qiáng)類型而進(jìn)行分類;其中重要的是壓強(qiáng)類型。
基于不同的傳感器技術(shù),結(jié)合不銹鋼和各種塑料外殼材料,適用于幾乎所有的工業(yè)氣體和流體,基于各種電氣和機(jī)械連接可以適應(yīng)幾乎任何應(yīng)用。
真空壓力傳感器的制造和組裝注意事項(xiàng):
壓力傳感器模組組裝工藝在制造商決定使用哪種修正和校準(zhǔn)方法中扮演重要角色,因此也會(huì)影響電路設(shè)計(jì)。激光修正方法需要在組裝過程中的某個(gè)中間點(diǎn)對(duì)模組進(jìn)行光接入,以執(zhí)行校準(zhǔn)。該步驟通常涉及溫度和壓力的應(yīng)用,因此需要對(duì)復(fù)雜的生產(chǎn)夾具進(jìn)行仔細(xì)維護(hù)和校準(zhǔn)。
由于目前量產(chǎn)的壓力傳感器設(shè)計(jì)都需要某些特定的校準(zhǔn),以確保在客戶層面的可互換性,因此修正成為對(duì)制造成本和生產(chǎn)率產(chǎn)生重大影響的關(guān)鍵步驟。對(duì)于單片和薄膜修正設(shè)計(jì)來說尤其如此,其中涉及到的微型尺寸和更高精度使模組組裝變得更具有挑戰(zhàn)性。
此外,后修正的制造操作步驟可能會(huì)在模組進(jìn)行測(cè)試之前出現(xiàn)輸出偏移,因此在測(cè)試時(shí),該操作則可能會(huì)引發(fā)參數(shù)不合格??紤]到這些因素,制造商仍在繼續(xù)尋求電氣修正方法,使成品模組能夠以形式進(jìn)行測(cè)試和修正。